最新消息 6 月 5 日消息 众所周知，光刻机是半导体行业最重要也最需要的设备之一，目前全球半导体设备行业多由几个美日欧龙头企业把持。

根据企查查的资料显示，国内高端准分子激光技术厂商北京科益虹源光电技术有限公司（以下简称“科益虹源”）发生工商信息变更，新增新增股东华为关联公司哈勃科技投资有限公司等企业成为公司股东。

同时该企业注册资金由 12000 万元提升至 20160 万元，增幅达 68%。其中，哈勃投资持股 %。

最新消息了解到，科益虹源成立于 2016 年 7 月，由中国科学院微电子所、亦庄国投、国科科仪等共同出资设立。注册资本 亿元，经营范围包含销售机械设备、电子产品等。

据悉，科益虹源自主设计开发的国内首台高能准分子激光器已于 2018 年 3 月顺利出货，打破了国外厂商的长期垄断。

藉此，科益虹源从此成为了中国唯一、世界第三家具备高端准分子激光技术研究和产品化的公司。此外，科益虹源也是国产光刻机厂商上海微电子的光源系统供应商。

此前有消息称，科益虹源将与上海微电子整机单位共同完成 28nm 国产光刻机的集成工作。恰逢其会，华为由于某些原因遭禁，因此不得不自行探索另一条道路。

业界认为，华为旗下的哈勃此次投资入股该企业，似乎也正是为了加码布局光刻机领域的研发而准备的，其原因不言而喻。