半导体代工企业间的竞争越演越烈，台积电与三星电子也争先恐后地加强开发速度，EUV（极紫外线）技术将成为决胜关键。

据韩媒报道， 三星电子和台积电接连购买10台以上的EUV设备。该设备由荷兰ASML独家生产，年产量只有30～40台，每台要价2000亿韩元。

从实力来看，三星的硬件设计目前是全球最尖端的，而且其财力也相对比台积电雄厚，在代工厂纷纷进入7纳米时代时，三星电子首先选择采用EUV制程，并于上个月抢先业界量产EUV制程的7纳米产品。 芯片代工步骤极其复杂，光刻只是13个步骤中的一个，台积电以现有技术优势抢占7纳米市场，在订单竞争中占据优势。在日前的半导体大会上，台积电表示 逻辑器件微缩将成为半导体产业发展的一大趋势， 台积电预计在5纳米制程引入EUV技术。

部分分析指出，三星电子将在EUV时代重掌主导权。三星电子将提前准备的效果将在5纳米制程发酵，并追击台积电。但是台积电的霸主地位并非容易撼动，台积电表示 5nm进入市场阶段 ，明年将会大规模量产。 Trendforce数据指出，台积电在今年第一季的代工市场市占率为％。