4月9日消息，据国外媒体报道，半导体行业光刻系统供应商ASML（阿斯麦）去年交付了26台极紫外光刻机（EUV），调查公司Omdia表示，其中约一半面向大客户台积电。

ASML此前公布，2021年，共向客户交付了26台极紫外光刻机。其中，在第四季度交付了8台。

ASML还透露，去年交付的26台极紫外光刻机中，有9台是最新型号，即NXE:3400C。

英国调查公司Omdia推测称，ASML去年交付的26台极紫外光刻机，大约一半面向台积电。

台积电2021年正式启动7nm产品的量产，这只能通过波长极短的EUV进行操作。资料显示，EUV光源波长比目前深紫外线微影的光源波长短少约15 倍，因此能达到持续将线宽尺寸缩小的目的。

在晶圆代工领域，台积电掌握了全球约一半份额。

另外，三星电子、英特尔等也采购了ASML的极紫外光刻机设备。

ASML服务的客户为全球主要的半导体制造商，打造在电力电子、通信和信息技术产品中广泛应用的芯片。

ASML公司总部位于荷兰的Veldhoven市。生产基地和研发设施则位于康涅狄格州、加州、中国台湾和荷兰。科技发展中心及训练设施位于日本、韩国、荷兰、中国台湾和美国。

ASML在阿姆斯特丹泛欧证券交易所和纳斯达克上市。周三收盘，ASML(NASDAQ:ASML)股价上涨%至美元，总市值约亿美元。