12 月 15 日，在 2021 年中国半导体设备年会暨重庆半导体产业创新发展论坛（第九届）上，中国电子专用设备工业协会常务副秘书长金存忠发表了题为《中国半导体设备回顾与展望》的演讲。

金存忠指出，2020 年，特如其来的新冠肺炎疫情使中国半导体设备行业经历了前所未有的挑战，而在中国迅速战胜了疫情，中国半导体设备行业在国内投资的集成电路生产企业量产后加速扩产和国家光伏发电政策的推动下，获得了较快的发展机遇，呈现了继续快速发展的态势。

据中国电子专用设备工业协会统计，中国大陆 56 家主要半导体设备制造商在 2020 年完成半导体设备销售收入 亿元，同比增长 %；总利润为 亿元，同比增长 %。其中，集成电路设备总销售收入为 亿元，同比增长 %。

金存忠表示，2020 年中国半导体设备销售收入前 10 家单位完成销售收入 亿元，占 56 家半导体设备制造商销售收入总额的 %。在前 10 家单位中，北方华创以 亿元的销售收入排在第一位，同比增长 %。

在 2021 年上半年的销售收入排名前 10 的半导体设备公司中，北方华创仍然以 亿元排在首位。另外，华峰测控也以 亿元的销售收入跻身前 10 榜单。

金存忠表示，国产设备不仅销售额和利润正在快速增长，在创新层面也不断有新的产品进入产业化阶段，例如北方华创的 12 英寸电感道等离子体干法金属刻蚀机、盛美股份的 3D 硅通孔电镀设备、中微股份的深紫外 LED MOCVD 设备等。

不过，金存忠也指出，国产设备在全球范围内市场占有率仍然较低，且在国内的市占率提升缓慢。2020 年中国半导体设备（56 家）在全球市场占有率仅为 %，在中国大陆市场占有率也只有 %，与 2019 年基本相同。

另外，国产设备在集成电路关键领域仍需依赖进口。金存忠表示，虽然已经有国产光刻机研制成功，但相关产品目前尚未进入集成电路晶圆量产生产线。而在已经进入晶圆量产生产线的国产设备中，晶圆制造量测设备、化学气相沉积设备、离子注入机、引线键合设备、探针测试台与国际同类设备都还有较大差距，市场占有率较低。